日本HORIBA堀場(chǎng)數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)LF/LV介紹
隨著半導(dǎo)體器件快速一體化的發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)高精度流量控制設(shè)備的需求日益增長(zhǎng)，細(xì)節(jié)處理以及新材料的引入變得愈加重要。在這種背景下，HORIBA STEC作為液體質(zhì)量流量計(jì)領(lǐng)域的重要供應(yīng)商，推出了多種產(chǎn)品，以應(yīng)對(duì)復(fù)雜的制程需求。本文將介紹其中的兩個(gè)重要型號(hào)——LF-F和LV-F。
一、日本HORIBA堀場(chǎng)數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)LF/LV介紹
數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)LF-F通過冷卻測(cè)試方式，可精確檢測(cè)低沸點(diǎn)和高粘度液體的流量。這款設(shè)備特別適用于要求高潔凈度的半導(dǎo)體制造環(huán)境，內(nèi)部經(jīng)過超潔凈處理，并符合RoHS環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)。其能夠提供超低微小流量檢測(cè)，抗壓性達(dá)到10MPa，適應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)中各種嚴(yán)苛的操作條件。同時(shí)，該設(shè)備通過高效、穩(wěn)定的液體傳輸，有效減少了操作員的手動(dòng)干預(yù)，降低了生產(chǎn)過程中可能的污染風(fēng)險(xiǎn)。
相似的，數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)LV-F作為另一重要產(chǎn)品，同樣采用了冷卻測(cè)試方式，但其側(cè)重于精準(zhǔn)流量控制。LV-F能夠精確控制低沸點(diǎn)和高粘度的液體流量，依托其超潔凈的內(nèi)部處理和符合RoHS環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)計(jì)，確保在復(fù)雜的半導(dǎo)體制程中保持高效運(yùn)轉(zhuǎn)。該設(shè)備具備的1MPa抗壓性，更適合用于中小流量控制需求的場(chǎng)景。通過自動(dòng)供液系統(tǒng)，該設(shè)備同樣可實(shí)現(xiàn)不間斷的液體傳輸，進(jìn)一步提升了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良品率。
這些數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)的引入，不僅僅是一種技術(shù)提升，更意味著對(duì)生產(chǎn)工藝精度和效率的高度重視。先進(jìn)的液體源汽化控制系統(tǒng)通過不同的注入方式，如直接注入、混合注入等，確保了氣體的平穩(wěn)有效傳輸。這些技術(shù)手段的綜合應(yīng)用，使得半導(dǎo)體生產(chǎn)在效率、精度和安全性方面都得到了顯著提升，從而滿足了日益復(fù)雜的生產(chǎn)需求。
總的來看，HORIBA堀場(chǎng)的數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)LF-F和LV-F憑借其精準(zhǔn)的流量測(cè)控功能和高潔凈度處理技術(shù)，為半導(dǎo)體制造提供了可靠的解決方案。這不僅優(yōu)化了生產(chǎn)流程，還顯著提高了產(chǎn)品的質(zhì)量和一致性，推動(dòng)了行業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展。這種技術(shù)上的精益求精，也為未來半導(dǎo)體領(lǐng)域的持續(xù)創(chuàng)新奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
二、上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司介紹
上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司位于上海浦東，提供針對(duì)電子半導(dǎo)體、光纖、生物制藥等行業(yè)的流量控制和過程連接專業(yè)服務(wù)。公司利用專業(yè)技術(shù)和服務(wù)，在行業(yè)中獲得了良好的聲譽(yù)和廣泛的贊賞。公司與多家國(guó)際原廠供應(yīng)商建立了長(zhǎng)期戰(zhàn)略合作關(guān)系，
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三、上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司優(yōu)勢(shì)
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自始至終，本公司都秉承“誠(chéng)信、務(wù)實(shí)、求精、創(chuàng)新”的價(jià)值觀，因而獲得了市場(chǎng)的廣泛信任和支持。
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