日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100好不好
作為一款專門針對非芯片半導體制程開發(fā)的質量流量控制器,HORIBA堀場的SEC-N100在市場上引起了廣泛關注。其出色的性能和多樣的功能使其在非芯片半導體工藝中得到了廣泛應用。首先,SEC-N100具備高度的兼容性,它提供了數(shù)字式和模擬式通信方式,包括RS-485、DeviceNet、Profibus以及模擬式(電流/電壓),這使得它能夠輕松與其他系列產品進行兼容,滿足不同客戶的需求。
一、日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100好不好
SEC-N100的一個顯著特點是其高精度控制能力。該產品選用了與SEC-Z500系列相同的傳感器和旁路,能夠實現(xiàn)±1.0%設定流量的高精度控制。此外,SEC-N100還具備快速響應的特點,在可控流量范圍內,其響應時間不超過1秒,并且內置PID參數(shù),可以根據(jù)需要調整響應時間。這些特性使得SEC-N100在精細控制和快速響應方面表現(xiàn)卓越,滿足了許多高要求工藝的需求。
此外,SEC-N100的復合氣體和復合量程特性也是其優(yōu)勢之一。用戶可以方便地在客戶端更改對應的氣體和量程,這為不同制程規(guī)范的要求提供了極大的靈活性。同時,SEC-N100的氣閥種類多樣,包括電磁閥和壓電陶瓷閥,最大流量分別可達50SLM和200SLM,進一步增強了其適應性和應用范圍。
在材料和接口方面,SEC-N100采用了橡膠或金屬材質的密封圈,并且氣路表面未經拋光處理,提供了可靠的密封性能和耐用性。其僅有的VCR接口設計也保證了其在特定應用中的穩(wěn)定性和安全性。此外,SEC-N100還符合RoHS要求,體現(xiàn)了HORIBA在環(huán)保方面的承諾。
綜上所述,HORIBA堀場的SEC-N100質量流量控制器憑借其高度的兼容性、高精度控制、快速響應以及靈活的復合氣體和量程特性,成為非芯片半導體制程中不可或缺的工具。其在材料和接口設計上的細致考慮以及對環(huán)保標準的遵守,進一步凸顯了其作為高性能流量控制器的卓越品質。在實際應用中,SEC-N100無疑將為用戶帶來顯著的效率提升和可靠的控制效果。
二、上海進佳科學儀器有限公司介紹
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