日本HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量控制器SEC-N100怎么樣
在半導(dǎo)體工業(yè)中,HORIBA堀場(chǎng)的SEC-N100質(zhì)量流量控制器展示了其卓越的性能和廣泛的適用性。SEC-N100主要針對(duì)非芯片半導(dǎo)體制程而開(kāi)發(fā),與芯片半導(dǎo)體制程一樣,非芯片半導(dǎo)體工藝也已經(jīng)形成相對(duì)統(tǒng)一的制造標(biāo)準(zhǔn)。SEC-N100系列產(chǎn)品能夠滿(mǎn)足廣大客戶(hù)對(duì)不同制程規(guī)范的要求,體現(xiàn)了它在該領(lǐng)域的適用性和靈活性。
一、日本HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量控制器SEC-N100怎么樣
SEC-N100質(zhì)量流量控制器在通信方式上提供了多種選擇,包括數(shù)字式和模擬式通信,如RS-485、DeviceNet、Profibus以及模擬式(電流/電壓)。這種多樣化的通信方式使其能夠與其他系列產(chǎn)品兼容,從而提升了系統(tǒng)集成的便捷性。這一特性不僅簡(jiǎn)化了用戶(hù)的操作流程,還大大增強(qiáng)了其在不同應(yīng)用場(chǎng)景中的適應(yīng)能力。
高精度控制是SEC-N100的一大亮點(diǎn)。其控制精度達(dá)到了±1.0%設(shè)定流量,得益于選用了與SEC-Z500系列相同的傳感器和旁路設(shè)計(jì)。這種高精度的控制能夠確保在復(fù)雜的半導(dǎo)體制程中實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的流量管理,從而提高產(chǎn)品的制造質(zhì)量和一致性??焖夙憫?yīng)時(shí)間也是SEC-N100的一項(xiàng)重要特性,其在可控流量范圍內(nèi)的響應(yīng)時(shí)間不超過(guò)1秒,并且內(nèi)置PID參數(shù)可以調(diào)整響應(yīng)時(shí)間。這一特性使其在需要快速調(diào)整流量的工藝中表現(xiàn)出色。
SEC-N100還具有不同類(lèi)型的氣閥,包括電磁閥和壓電陶瓷閥,適用于不同流量范圍的需求。其密封圈材質(zhì)可選擇橡膠或金屬,進(jìn)一步提升了產(chǎn)品的多樣性和適用性。此外,氣路表面未經(jīng)拋光處理和僅有VCR接口設(shè)計(jì),雖然看似簡(jiǎn)單,但卻足以滿(mǎn)足大多數(shù)非芯片半導(dǎo)體制程的需求,充分體現(xiàn)了設(shè)計(jì)的高效和實(shí)用。
滿(mǎn)足RoHS要求使得SEC-N100更加環(huán)保和符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。在當(dāng)前環(huán)境保護(hù)日益受到重視的背景下,這一特性為其在市場(chǎng)中的認(rèn)可度和接受度提供了重要保障。
綜上所述,HORIBA堀場(chǎng)的SEC-N100質(zhì)量流量控制器以其高精度、快速響應(yīng)、多樣化通信方式及環(huán)保設(shè)計(jì)在非芯片半導(dǎo)體制程中展現(xiàn)了出色的性能。無(wú)論是在系統(tǒng)集成的便捷性、復(fù)雜工藝的適應(yīng)性,還是在環(huán)境友好性方面,SEC-N100都表現(xiàn)得尤為突出。
二、上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司介紹
上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司,座落于上海市浦東新區(qū),專(zhuān)業(yè)為電子半導(dǎo)體、光纖、生物制藥等高科技領(lǐng)域提供流量控制與過(guò)程連接的解決方案。憑借專(zhuān)業(yè)的技術(shù)和服務(wù),公司在業(yè)內(nèi)享有良好的聲譽(yù)和廣泛的認(rèn)可。公司與多個(gè)國(guó)際原廠(chǎng)供應(yīng)商建立了長(zhǎng)期戰(zhàn)略的合作伙伴關(guān)系。
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