日本HORIBA堀場(chǎng)數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)LF/LV的基本參數(shù)
隨著半導(dǎo)體器件快速一體化的發(fā)展，半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的液體流量需求不斷增大，新的材料也被引入300nm晶圓制程以確保產(chǎn)品性能。在此背景下，HORIBA STEC 作為該領(lǐng)域的佼佼者，提供了一整套液體源汽化控制系統(tǒng)，通過加熱、直接注入和混合注入等多種方式，確保將氣體平穩(wěn)有效地傳送到反應(yīng)室。自動(dòng)供液系統(tǒng)能不間斷地安全可靠地傳輸液體，從而提高工作效率，同時(shí)有效降低了操作員的手動(dòng)操作和制程污染風(fēng)險(xiǎn)。
一、日本HORIBA堀場(chǎng)數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)LF/LV的基本參數(shù)
HORIBA的數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)LF-F和LV-F在這一領(lǐng)域中表現(xiàn)出色。LF-F是一款具備冷卻測(cè)試方式的液體質(zhì)量流量計(jì)，能夠精確檢測(cè)低沸點(diǎn)和高粘度液體的流量。其儀器內(nèi)部進(jìn)行了超潔凈處理，并符合RoHS環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)，確保了超低微小流量檢測(cè)的準(zhǔn)確性。LF-F的抗壓性高達(dá)10MPa，這使其在高壓環(huán)境下依然能夠穩(wěn)定運(yùn)行，體現(xiàn)出其卓越的性能。
另一方面，LV-F是一款具備冷卻測(cè)試方式的流量傳感器，能夠精確控制低沸點(diǎn)和高粘度液體的流量。與LF-F類似，LV-F也進(jìn)行了超潔凈處理并符合RoHS環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)，確保其在操作過程中不會(huì)產(chǎn)生污染。LV-F的抗壓性為1MPa，雖然不及LF-F，但在一般的半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境中已足夠應(yīng)對(duì)。LV-F提供超低微小流量控制，使得其在精細(xì)的流量調(diào)節(jié)需求下表現(xiàn)尤為突出。
這兩款流量計(jì)和傳感器的設(shè)計(jì)理念與半導(dǎo)體生產(chǎn)的嚴(yán)苛要求相契合，能夠在保證高精度和高穩(wěn)定性的同時(shí)，減少人為操作的誤差和污染風(fēng)險(xiǎn)。HORIBA堀場(chǎng)在液體質(zhì)量流量計(jì)領(lǐng)域的創(chuàng)新，不僅提高了生產(chǎn)效率，還推動(dòng)了半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步。這些先進(jìn)的儀器設(shè)備，通過細(xì)致入微的設(shè)計(jì)和高標(biāo)準(zhǔn)的制造工藝，確保了在嚴(yán)苛的生產(chǎn)條件下，依然能夠保持穩(wěn)定和可靠的運(yùn)行。通過應(yīng)用這些高性能的流量計(jì)，半導(dǎo)體生產(chǎn)商能夠更好地控制生產(chǎn)過程，提高產(chǎn)品質(zhì)量，從而在競(jìng)爭(zhēng)激烈的市場(chǎng)中占據(jù)有利地位。
二、上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司介紹
上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司位于上海浦東，為電子半導(dǎo)體、光纖及生物制藥等科技行業(yè)提供流量控制和過程連接的專業(yè)解決方案。依托專業(yè)技術(shù)和優(yōu)質(zhì)服務(wù)，本公司在行業(yè)中獲得了良好聲譽(yù)和廣泛認(rèn)可。公司與國(guó)際原廠供應(yīng)商建立了長(zhǎng)期的戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系。
多家儀器儀表制造商已授予我們官方代理經(jīng)銷商的資格。代理品牌包括DWYER德威爾、HORIBA堀場(chǎng)、KING、FilterSense費(fèi)爾升、Galltec+mela蓋加美、Valex威萊克、OMEGA奧米佳、degreeC、HONTZSCH虹啟、TKF富士金、YAMATO雅馬拓、Superlok等。我們的產(chǎn)品范圍包括質(zhì)量流量計(jì)、卡套接頭、閥門、風(fēng)速計(jì)、滅菌器、干燥箱、恒溫水槽及其他實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。憑借豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和完善的產(chǎn)品線，滿足客戶在不同應(yīng)用場(chǎng)景下的多樣化需求，并為其研發(fā)生產(chǎn)提供堅(jiān)實(shí)的后盾。
進(jìn)佳科學(xué)儀器堅(jiān)守“專業(yè)、創(chuàng)新、服務(wù)”的經(jīng)營(yíng)理念，不斷追求技術(shù)進(jìn)步和服務(wù)提升，提供高品質(zhì)產(chǎn)品和全面解決方案，助力客戶提高生產(chǎn)和研發(fā)的效率與可靠性。我們期待與更多的行業(yè)伙伴攜手合作，共創(chuàng)美好未來(lái)。
三、上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司優(yōu)勢(shì)
1、國(guó)際品牌授權(quán)代理商
上海進(jìn)佳科學(xué)儀器是HORIBA、DWYER、TK、Galltec+mela等多個(gè)國(guó)際品牌的授權(quán)代理商，提供的每個(gè)產(chǎn)品都是正品，品質(zhì)有保障。
2、誠(chéng)信的經(jīng)營(yíng)理念
自始至終，本公司都秉承“誠(chéng)信、務(wù)實(shí)、求精、創(chuàng)新”的價(jià)值觀，這使得我們?cè)谑袌?chǎng)上建立了牢固的信任關(guān)系。
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