400-092-5117
產(chǎn)品描述
FMA5400A/5500A系列電子氣體質(zhì)量流量計(jì)可控制0~10 SCCM范圍內(nèi)高達(dá)100 SLM的多種氣體的流量。FMA5400A/5500A利用通過加熱管進(jìn)行的熱傳遞測(cè)量氣體流量,可提供直接的氣體質(zhì)量流量測(cè)量值,并且無需對(duì)(規(guī)定限值以內(nèi)的)氣體溫度或壓力進(jìn)行補(bǔ)償。 該產(chǎn)品可提供經(jīng)濟(jì)型鋁/銅結(jié)構(gòu),適合測(cè)量普通氣體流量,同時(shí)可提供316不銹鋼結(jié)構(gòu),適合有更高耐腐蝕要求的應(yīng)用。不帶一體式顯示屏的FMA5400A系列流量計(jì)具有0 ~ -5Vdc和4 ~ 20 mA模擬量輸出,以便進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè);FMA5500A系列流量計(jì)兼具一體式3-1/2位數(shù)字顯示屏和模擬量輸出。顯示屏可傾斜90度,查看讀數(shù)方便。顯示屏經(jīng)過校準(zhǔn),可直接顯示以SCCM或SLM為單位的氮?dú)饬髁浚梢酝ㄟ^專門訂購(gòu)來獲得其它氣體校準(zhǔn))。
FMA5400A/5500A質(zhì)量流量控制器具有內(nèi)置常閉電磁閥,無論入口壓力或出口壓力如何變化,都能保持流量恒定。設(shè)定值可通過電位計(jì)(電位計(jì)可通過外殼中的訪問窗口訪問)進(jìn)行本地控制,也可通過0-5 Vdc或4~20 mA模擬信號(hào)(現(xiàn)場(chǎng)可選)遠(yuǎn)程控制。FMA5400A/5500A系列需要使用12~26Vdc電源(最大電流800 mA),F(xiàn)MA545PW墻壁插入式插座電源可滿足其要求。12~15 Vdc功率@ 800 mA最大值(僅限43、44、45的規(guī)格)。型號(hào)為FMA545C(單獨(dú)提供)的配件提供配接式15針""D""型連接器,帶8英尺屏蔽電纜用于訪問模擬輸出信號(hào)和電源輸入連接。FMA5500A系列配備的LCD通過通訊插頭與下面的電子設(shè)備相連。通過購(gòu)買FMA18RC遠(yuǎn)程電纜組件可以遠(yuǎn)程安裝LCD,之后,您必須自行組裝組件以便進(jìn)行LCD的面板安裝。
產(chǎn)品規(guī)格
精度:對(duì)于滿量程小于100 SLM ±1% FS的裝置,在15~25°C(59~77°F)和
0.7~4.2 kg/cm²(10~60 psia)下具有線性度。對(duì)于≥100 SLM的裝置,滿量程:±1.5% FS,在15~25°C(59~77°F)和 0.7~4.2 kg/cm²(10~60 psia)下在20~100%的范圍內(nèi)具有線性度;在0~20%的范圍內(nèi)為±3% FS。
重復(fù)性:± 0.5%滿量程
溫度系數(shù):0.15% FS/°C
壓力系數(shù):每psi 0.01%FS(0.07 bar)
最大壓降:50 psid
響應(yīng)時(shí)間:在25%~100%FS范圍內(nèi),5秒處于設(shè)定流量的±2%范圍內(nèi)
最大氣壓:70 kg/cm2表壓(1000 psig)(適用于最高100 SLM的裝置); 35 kg/cm2表壓(500 psig);最佳1.76 kg/cm(25 psig)
氣體和環(huán)境溫度:5~50°C(41~122°F)
泄露率:對(duì)外界環(huán)境的最大泄漏率為1×10-7 cc/sec氦氣
接液材質(zhì):
鋁制流量計(jì):陽(yáng)極氧化鋁,316 SS,黃銅和FKM O形圈
不銹鋼型號(hào):316 SS 和 FKM O型圈
輸出信號(hào):
線性0~5 Vdc:1000 Ω最小負(fù)載
4~20 mA:50~500 Ω 環(huán)路電阻,±20 mV 最大噪聲
傳感器電源:12~26 Vdc @ 800 mA 標(biāo)準(zhǔn) 量程比:40:1
裝運(yùn)重量:1.8 kg (4 lb)
合規(guī)性:EN55011 1類,B類;EN50082-1
海拔靈敏度:水平流徑,傾斜到20°,校準(zhǔn)也不會(huì)發(fā)生偏移
氣體相對(duì)濕度:0~70% RH
最小壓降
SLM | ≤9 | 10-30 | 50 | 60~100 | 200 | 500 | 1000 |
psid | 1.1 | 3.9 | 8 | 18.9 | 10 | 12 | 15 |