關(guān)于流量單位

質(zhì)量流量計測量的質(zhì)量流量，不受壓力和溫度的影響。當(dāng)通過流量表示質(zhì)量，必要的使用單位，如g/min和kg/min， 不同于一般流體測量單位。一般情況，通過基準(zhǔn)壓力和溫度等決定條件來表示體積流量。目前，Pa•m3/s，與SI單位一致，一般使用單位SCCM和SLM，作為主流仍在使用。

SCCM是標(biāo)準(zhǔn)立方厘米每分鐘單位的縮寫，在0°C時、1個大氣壓下是cc/min。而SLM是標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘的縮寫，相同的條件下顯示L/min。其他流量單位，目前如果為經(jīng)認(rèn)證的計量單位，可用于我們產(chǎn)品的校準(zhǔn)和生產(chǎn)。在一些半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以外的行業(yè)， SCCM和SLM被定義為單位在20°C和1個大氣壓力下，在0°C和1個大氣壓下單位為NCCM和NLM。關(guān)于HORIBA質(zhì)量流量儀表的流量顯示，標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力的單位為SCCM（ 0°C，1 atm時）和NLM（0°C，1 atm時）。