質量流量控制器不根據(jù)使用環(huán)境的溫度和供給氣體的壓強的變化受影響，而是自動調整至根據(jù)電力信號得到的設定流量值。 流量大致可區(qū)分為“體積流量”和“質量流量”。 體積流量由于...