HORIBA熱式質(zhì)量流量控制器S48-28/HMT 詳情介紹
HORIBA熱式質(zhì)量流量控制器S48-28/HMT產(chǎn)品特點(diǎn):
高精度/快速響應(yīng)、多種通訊(模擬/RS485/PROFIBUS)、HORIBASTEC設(shè)計(jì)核、心部件日本進(jìn)口
HORIBA熱式質(zhì)量流量控制器S48-28/HMT典型應(yīng)用:
- PV:擴(kuò)散過程氣體/PECVD/離子注入
- 食品&飲料:混合,裝瓶過程控制,干燥冷卻,包裝保護(hù)氣。
- 光纖:MCVD/VAD/0VD
- 工業(yè)爐:火焰/燃燒控制/氣體混合。
- 生物制藥:發(fā)酵反應(yīng)氣的過程控制,生物反應(yīng)器氣體管理
- 真空鍍膜:薄膜沉積過程控制
- 分析/氣體分析:抽樣分析,氣體抽樣比例測試,從色譜儀中核查多氣體流動的氣流和氣壓。
- 汽車:排放測試,排放監(jiān)測,測量壓縮氣體。
- 熱處理:燃燒控制,焊接。