400-092-5117
HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500減少實際流量和理論差異
HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500,Sensor
1.使用溫度補償回路傳感器(減少 摩爾比熱影響)
2.多項方程來糾正流量
3.收集流量輸出特性數(shù)據(jù)庫(N2和實際氣體)
4.更新sensor 數(shù)據(jù) by Data Server
HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500,Bypass
1.提高加工精度
2.安裝不同流量的BP配合sensor (Fixed flow ratio every Bin number
HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500,F(xiàn)low path
1.內部表面拋光,減少流量差異
2.采用PIEZO閥,結構簡單,沒有熱量產(chǎn)生。
HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500,PCB
1.數(shù)字式調整
2.更少電位器。減少改變機械霧部件可能造成的損傷。(Cancel of backrush)
Calibration tool
1.采用 MolBlock 調流量