日本HORIBA堀場數(shù)字式液體質(zhì)量流量計LF/LV 簡介
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品類型
質(zhì)量流量計/控制器
產(chǎn)品簡介
隨著半導(dǎo)體器件快速一體化的發(fā)展,越來越多的細節(jié)需要考慮其中,同時新的材料也被引入 300nm 晶圓制程以確保產(chǎn)品性能。在這樣的背景下,更多的液體被應(yīng)用到半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,流量需求不斷增大。作為該領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者,HORIBA STEC 提供了一整套的液體源汽化控制系統(tǒng),利用加熱、直接注入、混合注入等不同方式確保平穩(wěn)有效的將氣體傳送到反應(yīng)室。自動供液系統(tǒng)能不間斷的安全可靠的傳輸液體,從而提高工作效率,同時有效降低了操作員的手動操作以及制程污染風險。