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日本HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器SEC-N100

日本HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器SEC-N100(SEC-N122MGM)

HORIBA,SEC-N100質(zhì)量流量控制器(SEC-N122MGM)

日本HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器SEC-N100 簡介

產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品品牌
HORIBA堀場
產(chǎn)品類型
質(zhì)量流量計/控制器
可售賣地
面議
價格區(qū)間
面議
供貨總量
面議
售后服務(wù)
完善
產(chǎn)品簡介
HORIBA質(zhì)量流量控制器SEC-N100主要針對非芯片半導(dǎo)體制程而開發(fā),同半導(dǎo)體制程一樣,非芯片半導(dǎo)體工藝也已經(jīng)形成相對統(tǒng)一的制造標(biāo)準(zhǔn), SEC-N100 系列產(chǎn)品能夠滿足廣大客戶對不同制程規(guī)范的要求。

日本HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器SEC-N100(SEC-N122MGM) 介紹

型號:SEC-N122MGM
精度:±1.0% S.P.(Flow rate>25% F.S.) ±0.25% F.S.(Flow rate≤25%F.S.)
量程:50SLM
輸出:RS485(F-net)
0-5V

日本HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器SEC-N100 詳情介紹

SEC-N100質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特性:

  • 數(shù)字式/ 模擬式通信:RS-485/DeviceNet/Profibus/模擬式(電流/電壓),可與其它系列產(chǎn)品兼容
  • 復(fù)合氣體 / 復(fù)合量程:可以方便的在客戶端更改對應(yīng)氣體和量程
  • 高精度控制: ±1.0% 設(shè)定流量:選用與SEC-Z500系列相同的sensor和bypass.
  • 快速響應(yīng): 在可控流量范圍內(nèi),響應(yīng)時間≦1 sec,內(nèi)置PID參數(shù),可以調(diào)整響應(yīng)時間
  • 氣閥種類:電磁閥 (~50SLM),壓電陶瓷閥 (100/200SLM)
  • 密封圈材質(zhì) :橡膠 或 金屬
  • 氣路表面 : 未經(jīng)拋光處理
  • 接口 : 僅有VCR接口
  • RoHS要求: 滿足RoHS要求

日本HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器SEC-N100產(chǎn)品規(guī)格

日本HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器SEC-N100參數(shù)

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