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日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100 簡介

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品品牌

HORIBA堀場

產(chǎn)品類型

質量流量計/控制器

可售賣地

面議

價格區(qū)間

面議

供貨總量

面議

售后服務

完善

產(chǎn)品簡介

HORIBA質量流量控制器SEC-N100主要針對非芯片半導體制程而開發(fā),同半導體制程一樣，非芯片半導體工藝也已經(jīng)形成相對統(tǒng)一的制造標準， SEC-N100 系列產(chǎn)品能夠滿足廣大客戶對不同制程規(guī)范的要求。

日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100(SEC-N122MGM) 介紹

型號:SEC-N122MGM
精度:±1.0% S.P.(Flow rate>25% F.S.) ±0.25% F.S.(Flow rate≤25%F.S.)
量程:50SLM
輸出:RS485(F-net)
0-5V

日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100 詳情介紹

SEC-N100質量流量控制器產(chǎn)品特性:

數(shù)字式/ 模擬式通信：RS-485/DeviceNet/Profibus/模擬式（電流/電壓），可與其它系列產(chǎn)品兼容
復合氣體 / 復合量程：可以方便的在客戶端更改對應氣體和量程
高精度控制： ±1.0% 設定流量：選用與SEC-Z500系列相同的sensor和bypass.
快速響應：在可控流量范圍內,響應時間≦1 sec，內置PID參數(shù)，可以調整響應時間
氣閥種類：電磁閥 (~50SLM)，壓電陶瓷閥 (100/200SLM)
密封圈材質：橡膠或金屬
氣路表面：未經(jīng)拋光處理
接口：僅有VCR接口
RoHS要求：滿足RoHS要求

日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100產(chǎn)品規(guī)格

日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100參數(shù)

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